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投影光刻機(jī)氣動(dòng)隔振系統(tǒng)有哪些方式

發(fā)表時(shí)間:2023-05-18

投影光刻機(jī)氣動(dòng)隔振系統(tǒng)有哪些方式
1、設(shè)計(jì)方案絕對(duì)高度更低:與傳統(tǒng)氣缸對(duì)比,增壓器的投影光刻機(jī)氣動(dòng)隔振系統(tǒng)并沒(méi)有液壓油缸。設(shè)計(jì)方案含有什么方法可以大幅度降低彈簧的絕對(duì)高度?使結(jié)構(gòu)更緊密。
2、無(wú)電源適配器的好姿態(tài):工業(yè)設(shè)備氣襄扭力彈簧的偏斜角度做到30°,便捷設(shè)計(jì)師設(shè)計(jì)方案連接組織計(jì)劃方案。(注:假如設(shè)施的規(guī)格型號(hào)和規(guī)格不一樣,允許的俯仰角也不一樣。)
3、型號(hào)挑選低成本:與傳統(tǒng)氣缸對(duì)比彈簧,氣體增壓器彈簧不僅低成本,而且使用年限長(zhǎng),免維護(hù)保養(yǎng)空氣彈簧減震器哪里好,成本費(fèi)可控性。
4、無(wú)摩擦免維修保養(yǎng):即便在嚴(yán)酷的應(yīng)用情況下彈簧,彈簧也可以正常的工作中。由于打氣筒內(nèi)并沒(méi)有互相摩擦的構(gòu)件(液壓密封件),因此即便在有許多灰塵、微小顆粒物或沉淀的條件下都不容易損壞。
5、聯(lián)系實(shí)際出色的疲倦緩解:氣囊彈簧在動(dòng)態(tài)性情況下也十分耐疲倦,由于這類(lèi)氣囊用以各式各樣化工品的生產(chǎn)制造普遍的運(yùn)用和檢測(cè),即使他們是不容易受天氣和外部環(huán)境的危害。即便承載力大,工業(yè)設(shè)備仍能維持較長(zhǎng)的使用年限。
6、氣體增壓器投影光刻機(jī)氣動(dòng)隔振系統(tǒng)的氣軸抗壓強(qiáng)度可達(dá)30mm,在該地區(qū)工作時(shí)可始終保持。與氣缸或液壓油缸不一樣,氣缸不容易紙卡或損壞液壓密封件,都不應(yīng)用易受灰塵與別的碎渣損害的滾桶。
7、便于組裝:當(dāng)不除灰時(shí),氣囊投影光刻機(jī)氣動(dòng)隔振系統(tǒng)組裝快速輕輕松松,省時(shí)省力、時(shí)間精力和成本費(fèi)。除此之外,該元器件具有較好的延展性,能夠賠付細(xì)微的偏差。
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